一、氮化硅的物理性能
①熱學性質(zhì):氮化硅屬于高溫難熔物質(zhì),抗高壓蠕變能力強,不含粘結(jié)劑的反應(yīng)燒結(jié)氮化硅負荷軟化點可高達1800℃;②熱傳導(dǎo)性能良好,20W/mK;
③熱膨脹系數(shù)小;
④電絕緣性能好,介電系數(shù)小,抗擊穿電壓高。
二、氨化硅的化學性能:
①抗氧化性:800C以下干燥氣氛中不與氧發(fā)生反應(yīng):
②抗熔融金屬腐蝕性:氮化硅對單質(zhì)金屬融液(除銅外)不浸潤,不受腐;③抗酸堿鹽腐蝕性:易溶于氣氟酸,與稀酸不起作用。
三、氨化硅的機械性能:
①高溫強度好,1200℃高溫強度與室溫強度相比衰減不大,另外,它的高溫蠕變率很低。這些都是由強共價鍵本質(zhì)所決定的;②硬度高,僅次于金剛石、立方BN、BC等少數(shù)幾種超硬材料;
③摩擦系數(shù)小,有自潤滑性,與加油的金屬表面相似。